울산대학교 비교과통합관리시스템

2일 (4시간/일, 총 8시간) 교육 과정 

수업은 이론(8호관 327호) 2시간, 반도체공정실험실습용 클린룸 화이트(8-108), 엘로우(8-123), 공용실험실(8-118)에서 진행합니다.

[1일차]

1교시:  반도체 및 반도체 산업 벨류 체인 소개

2교시:  반도체 집적 공정 - 산화, 세정, 광 노광

3교시:  반도체 공정 실험/실습(1)-산화, 세정

4교시:  반도체 공정 실험/실습(2)-광 노광 공정

[2일차]

1교시:  반도체 집적소자(MOSFET 중심) 및 제품에 대한 소개

2교시:  반도체 집적 공정 - 도핑(확산, 이온주입), 급속배선

3교시:  반도체 공정 실험/실습(3)-확산을 통한 접합 형성

4교시:  반도체 공정 실험/실습(4)-오옴접촉, 금속 배선

본 과정은 "반도체전공트랙사업"에서 재료비 및 조교 지원을 받아, 나노반도체공학과 김용수 교수가 운영할 예정입니다.